潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間,亦稱(chēng)無(wú)塵車(chē)間、無(wú)塵室或清凈室。
潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、高端技術(shù)密切相關(guān),由于精密機(jī)械工業(yè)、半導(dǎo)體工業(yè)等必須達(dá)到很高的無(wú)塵級(jí)別才能滿(mǎn)足生產(chǎn)的要求,這就大大促進(jìn)了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。
目前在精密機(jī)械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當(dāng)普遍。
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